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            一文與您分享三豐表面輪廓儀的操作方法

            更新時間:2022-08-11      點擊次數:2729
               三豐表面輪廓儀是利用光學顯微技術、白光干涉掃描技術、計算機軟件控制技術和PZT垂直掃描技術對工件進行非接觸測量,還原出工件3D表面形貌宏微觀信息,并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進行各種功能參數數據處理,實現對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學計量儀器。
             
              今天咱們就來聊一聊三豐表面輪廓儀的操作方法:
             
              1、將樣品放置在載物臺鏡頭下方。檢查電機連接和環境噪聲,確認儀器狀態,
             
              2、使用操縱桿調節Z軸,找到樣品表面干涉條紋。微調XY軸,找到待測區域,并重新找到干涉條紋。
             
              3、完成掃描設置和命名等操作。點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉調整觀察一會),進行校平。
             
              4、進入數據處理界面,點擊“校平”圖標,和平面樣品不同,臺階樣品需手動選取基準區域,選好基準區域后,先“全部排除”再“包括”。
             
              5、若樣品表面有好幾處區域均為平面且高度一致,可多選擇幾個區域作為基準面進行校平。
             
              6、臺階高度測量:線臺階高度測量。
             
              7、進入分析工具界面,點擊“臺階高度”圖標,即可直接獲取自動檢測狀態下的面臺階高度相關數據。
             
              8、在右側點擊“手動檢測”,根據需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區域,數據欄可直接讀取兩個區域的面臺階高度數值。
             
              9、臺階高度測量:線臺階高度測量。
             
              10、進入數據處理界面,點擊“提取剖面”圖標,使用合適方向的剖面線,提取目標位置的剖面輪廓曲線。
             
              11、進入分析工具界面,點擊“臺階高度”圖標,由于所測為中間凹槽到兩側平面高度,因此點擊右側工具欄,測量條對數選擇“2”,將紅色基準線對放置到凹槽平面中間,兩對測量線對分別放置在兩側平面,即可在數據纜讀取臺階高度數據。

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